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立式低温真空枯燥箱装置进程、运用方法和注意事项


  新购买的立式低温真空枯燥箱怎样装置以及运用,这个很多对立式低温真空枯燥箱不了解的客户都会遇到的问题,而且就算有一部分客户对它比较了解,但是在运用的进程中依旧会遇到各式各样的问题。那么,立式低温真空枯燥箱装置进程是什么呢?该怎样运用呢?运用时要注意哪些问题呢?


一、立式低温真空枯燥箱装置进程


  1、翻开真空泵抽真空,待腔内真空度抵达某一高真空度后,开端充入氮气。
  2、充到抵达某低真空度后,再次进行抽真空,在抵达设定时刻后,中止充入HMDS药液,进入坚持阶段,使硅片充沛受热,减少硅片表面的水分。
  3、然后再次开端抽真空,充入HMDS气体,在抵达设定时刻后,中止充入HMDS药液,进入坚持阶段,使硅片充沛与HMDS反响。
  4、当抵达设定的坚持时刻后,再次开端抽真空。充入氮气,完成整个作业进程。


二、立式低温真空枯燥箱运用方法

  1、立式低温真空枯燥箱外壳有必要有效接地,以保证运用安全。
  2、立式低温真空枯燥箱不需接连抽气运用时,应先封闭真空阀,再封闭真空泵电源,否则真空泵油要倒灌至箱内。
  3、取出被处理物品撕,如处理的是易燃物品,有必要待温度冷却到低于燃点后,才能放入空气,以免发作氧化反响引起焚烧。


三、立式低温真空枯燥箱注意事项

  1、立式低温真空枯燥箱不能长时期作业,因此当真空度抵达枯燥物品要求时,应先封闭真空阀,再封闭真空泵电源,待真空度小于枯燥物品要求时,再翻开真空阀及真空泵电源,继续抽真空,这样可延长真空泵运用寿命。
  2、枯燥的物品如湿润,则在真空枯燥箱与真空泵之间好加入过滤器,防止湿润气体进入真空泵,形成真空泵故障。
  3、立式低温真空枯燥箱应在相对湿度≤85%RH,周围无腐蚀性气体、无强烈轰动源及强电磁场存在的环境中运用。
  4、立式低温真空枯燥箱作业室无防爆、防腐蚀等处理,不得放易然、易爆、易产生腐蚀性气体的物品进行枯燥。
四、立式低温真空枯燥箱图片




  上面就是小编整理搜集的关于“立式低温真空枯燥箱装置进程以及怎样运用”的相关常识,希望能够对不明白立式低温真空枯燥箱的客户带来协助。